日本EZO微型高速轴承圆度、波纹度及表面粗糙度的测量方式
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日本EZO机器人专用微型轴承
日本EZO轴承生产中的散射光：一次测量圆度、波纹度及表面粗糙度
日本EZO高速精密微型是精密机械零件，对滚动体和轴承套圈的圆度、波纹度和表面粗糙度有很高的要求，生产过程必须满足亚微米级公差。为了验证生产质量，采用了最先进的接触测量技术，对如圆度和波纹度进行测量以及根据ISO 4287标准对表面粗糙度进行测量。为了测量圆度和波纹度，使用了特殊的测量仪，同时也可用来测量表面粗糙度。测量主要是在实验室环境中以随机抽样的方式检查零件。同时，为了满足日益增长的轴承质量要求，必须增大样本尺寸，但这增加了质量检查所需的时间。散射光光学测量技术有助于解决这些矛盾的要求。这项技术基于光从表面的反射，可在一次操作中测量圆度、波纹度和表面粗糙度。提供洁净的环境，就可使用散射光进行自动测量，并将其集成于如超精和磨削等生产过程中。此外，周期时间远比接触测量短。散射光测量的结果可校准。通过校准圆度和波纹度可达到国际标准。Aq是从表面粗糙度的光学结果得来的新参数，虽然其与已知的Ra和Rz值无关，但与偶尔使用的Rdq值有关。
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